氬離子拋光機(jī)在新材料領(lǐng)域的應(yīng)用——單晶基板測試
2024-08-20
單晶基板是一種具有高晶體品質(zhì)的材料,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、集成電路、高頻大功率電子器件等領(lǐng)域。它們具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu),展現(xiàn)出均勻性、各向異性等特征,是良好的半導(dǎo)體材料。單晶基板的拋光是半導(dǎo)體制造過程中的一個重要環(huán)節(jié),主要目的包括:1.實(shí)現(xiàn)超光滑表面2.去除表面損傷和雜質(zhì),改善表面質(zhì)量3.實(shí)現(xiàn)晶格匹配,